Business Items
> 사업영역 > Business Items| ITEM Group | Process | Materials |
|---|---|---|
| 포토척/웨이퍼 테이블 (Photo Chucks/Wafer Tables) |
노광 공정. ASML, Canon, Nikon | SiC, Quar |
| 진공척 (Vacuum Chucks) |
웨이퍼 검사 공정, 웨이퍼 스테이지 부품, 반도체/LED 공정 기판 클램핑 공정, 그외 |
SiC, Porous Ceramic, Black Ceramics, Al |
| 세라믹 부품류 (Ceramic Components) |
반도체,LED 설비용 부품 | Al2O3, Y2O3, AlN, Si3N4, SiC, etc |
| 소모성 부품 수리 (Spare Parts Refurbishment) |
Etch/Implant/CVD/PVD/Diffusion, Others |
ESC, Heater, Si, AMAT Showerheads, |
| 래핑, 폴리싱 서비스 (Polishing Services) |
초정밀 평면도 0.05um, 표면 조도 Ra 0.01um, 최대 가능 사이즈Φ700mm |
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| 설계 디자인 개조 개선 서비스 | 신규 소재 발굴 및 개발, 디자인 개조/개선 |
